台阶仪ET200A Kosaka膜厚测量仪 探针式表面轮廓台阶仪

广州特准仪器仪表有限公司

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器.根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

产品特点：台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好

规格

一、样品台：

1. 样品台尺寸：φ160mm

2. 工件尺寸：φ200mm

3. 工件厚度：52mm

4. 工件重量：2kg

5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质：黑色硬质铝

7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，较小约0.5°)

二、传感器（pick up）：

1. 原理：直动式传感器 （业界）

2. Z方向测定范围：Max. 600µm

3. Z方向较小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力： 10uN ~500uN

5. 触针半径：2 µm 60° 钻石针头 （另有多种可选）

6. 驱动方式：直动式

7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)

三、X 轴 (基准轴/测量轴)：

1. 移动量(测长)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1µm

5. 位置重复误差：±5um